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Edwards WRG-S-NW25 Mode D'emploi page 3

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Table des matières
Section
1
Introduction ....................................................................................... 1
1.1
Portée et définitions .................................................................................................... 1
1.2
Description ................................................................................................................ 1
1.3
Dépendance vis-à-vis du gaz ........................................................................................... 2
2
Caractéristiques techniques .................................................................... 5
2.1
Caractéristiques mécaniques .......................................................................................... 5
2.2
Performances, conditions de fonctionnement et de stockage .................................................... 5
2.3
Caractéristiques électriques ........................................................................................... 5
2.4
Matériaux exposés au vide ............................................................................................. 6
3
Installation ....................................................................................... 11
3.1
Déballage et vérifications .............................................................................................11
3.2
Installer la WRG sur le système de vide ............................................................................. 11
3.3
Raccordements électriques ...........................................................................................11
3.3.1
Branchement aux contrôleurs Edwards ou à l'afficheur AGD ....................................................11
3.3.2
Branchement à l'alimentation et à l'équipement de commande du client ..................................... 12
4
Fonctionnement ................................................................................ 13
4.1
Consignes de sécurité ..................................................................................................13
4.2
Mesure de pression .....................................................................................................14
4.3
Réglage à l'atmosphère ................................................................................................14
4.4
Réglage au vide .........................................................................................................15
4.5
Point de consigne .......................................................................................................15
4.6
Contrôle des erreurs ...................................................................................................16
5
Entretien ......................................................................................... 17
5.1
Introduction ............................................................................................................. 17
5.2
Remplacer le tube ......................................................................................................17
5.3
Remplacer les ensembles électrode et Pirani ...................................................................... 18
5.4
Remplacer le boîtier aimant et électronique ...................................................................... 19
5.5
Nettoyer les composants internes .................................................................................... 19
6
Stockage et mise au rebut .................................................................... 21
6.1
Stockage .................................................................................................................. 21
6.2
Mise au rebut ............................................................................................................ 21
7
Service, pièces détachées et accessoires ................................................... 23
7.1
Introduction ............................................................................................................. 23
7.2
Entretien ................................................................................................................. 23
7.2.1
Renvoyer des équipements ou des composants pour entretien ................................................. 23
7.3
Pièces détachées .......................................................................................................24
7.4
Accessoires ............................................................................................................... 24
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D14701883 Issue L
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