Publicité
5
Entretien
5.1
Introduction
Ne débranchez pas le boîtier aimant et électronique du tube, lorsque celui-ci est branché au
système de vide. En cas de décharge de plasma dans le système de vide près du tube, les broches
de l'ensemble anode peuvent se charger électriquement.
Débranchez le câble de la WRG avant de retirer la jauge du système de vide. De hautes tensions
sont engendrées à l'intérieur de la WRG.
Les composants internes de la WRG sont illustrés à la
puissent être nettoyés ou remplacés au moyen des pièces détachées énumérées dans la
aux sections ci-après pour plus de détails sur les procédures d'entretien nécessaires.
5.2
Remplacer le tube
Reportez-vous à la
Figure 8
Pour retirer l'ensemble tube :
1. Coupez l'alimentation électrique de la WRG et assurez-vous que le système de vide est à la pression
atmosphérique.
2. Débranchez la fiche de connexion de câble
3. Maintenez fermement le boîtier aimant et tirez l'ensemble tube pour le retirer.
Pour replacer l'ensemble tube :
1. Introduisez l'ensemble tube dans le boîtier aimant, puis faites-le tourner tout en maintenant une faible pression
jusqu'à ce qu'il soit en position. Enfoncez-le en position jusqu'à ce que le ressort de verrouillage s'enclenche.
2. Replacez la jauge sur le système de vide, comme décrit dans la
l'alimentation électrique.
© Edwards Limited 2020. Tous droits réservés.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT
et respectez les procédures suivantes pour remplacer le tube.
(Figures 1
Figure
9. La WRG est conçue de sorte que les composants
et 2, élément 7) et retirez la WRG du système de vide.
Section
3.2, puis rebranchez
D14701883 Issue L
Section
7.3. Reportez-vous
Page 17
Publicité
