Table des Matières
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Fonctionnement
N'utilisez pas l'APGX pour mesurer la pression de mélanges ou gaz explosifs ou inflammables.
La jauge contient un filament chauffé qui fonctionne normalement à 80 °C au-dessus de la
température ambiante. La température du filament peut être supérieure dans des conditions
de panne.
Lors de la mesure de gaz à poids moléculaire élevé, la pression indiquée peut être inférieure à la
valeur réelle. Assurez-vous que l'APGX n'est pas surpressurisée lors de l'utilisation de gaz lourds.
Ne déconnectez jamais l'APGX pour une remise à l'air du système de vide. Les turbulences qui en résulteraient
pourraient endommager le filament de la jauge.
La contamination peut affecter la performance de la jauge. Les utilisateurs doivent prendre les mesures
nécessaires pour réduire l'exposition de la jauge aux sources de contamination.
4.1
Mesure de pression
Pour assurer la meilleure précision possible dans les mesures de pression, laissez l'APGX se réchauffer pendant
environ 10 minutes, puis suivez la procédure dans la
Si l'APGX est raccordée à un contrôleur AGC Edwards ou à un afficheur AGD Edwards, la pression mesurée par la jauge
s'affiche à l'écran.
Si la sortie du signal de l'APGX est raccordée à un voltmètre, convertissez la tension de mesure en valeur de pression
correspondante à l'aide de l'équation ci-après :
où V est la tension mesurée en volts. Par exemple, si la tension mesurée V = 4 volts, alors la pression P = 10
Reportez-vous aux
Figures 4
© Edwards Limited 2015. Tous droits réservés.
Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT
ATTENTION
ATTENTION
Section 5.1
V-6
P = 10
V-4
= 10
V-6,125
= 10
et 5.
pour la régler.
mbar
pascal
torr
D023-84-883 Issue D
-2
mbar.
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