Varian 969-9365 Série Mode D'emploi page 21

Masquer les pouces Voir aussi pour 969-9365 Série:
Table des Matières

Publicité

NEJ
!
VARNING!
Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp
för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval)
rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga
metallbälgar monteras vid inloppet måste pumpen förankras i
fundamentet.
Turbomolekylärpumparna i serien V 70LP måste användas med
en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9405, 969-9505, 969-
9507- eller 969-9508), och anslutas till en förpump (se schema i "
Technical information").
Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst turbopumpen i
ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 200 Nm runt den
genomgående axeln, eller använd den särskilda monteringssatsen
som finns som tillval.
Turbopumpen
med
ISO-intagsfläns
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Den
följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och med vilket
åtdragningsmoment de ska spännas.
FLÄNS
TYP AV
KLAMMER
ISO 63
Dubbel klammer
med gänga M10
Enkel klammer med
gänga M8
Turbopumparna
med
intagsfläns
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga "Technical Information".
För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att
använda 3 M4 skruvar, som installeras i hålen på pumpens
fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på
2
500 N/mm
korrekt åtdragningsmoment är 0,9 Nm.
Installation
av
tillbehörsutrustning
Information".
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett
särskilt
värmeaggregat
som
uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet aldrig
bli högre än 120 °C.
Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.
ska
fästas
i
ANTAL
ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
4
22 Nm
4
11 Nm
ConFlat
ska
fästas
till
beskrivs
i
"Technical
finns
som
tillval.
Under
!
Vidrör
inte
turbopumpen
uppvärmningen för att undvika brännskador.
Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning
av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar.
Undvik
sammanstötningar,
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
Vid pumpning av aggressiva gaser skall den specialkonstruerade
versionen av Turbo - V 70LP pumpen användas. Denna pumptyp
är försedd med ett specialuttag dit ett ädelgasflöde mellan 0.4 och
1 mbar l/s skall anslutas.
UNDERHÅLL
Pumparna
i
Turbo-V
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
!
Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den aktuella
ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills
pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller
Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en renoverad
pump.
Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte
mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet"
som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den
lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med
pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning
16
BRUKSANVISNING
VARNING!
eller
några
tillbehör
!
VIKTIGT
!
VIKTIGT
svängningar
eller
!
VIKTIGT
70LP-serien
är
underhållsfria.
VARNING!
OBSERVERA
87-900-862-01(E)
under
plötsliga
Allt

Publicité

Table des Matières
loading

Ce manuel est également adapté pour:

969-9366 série969-9367 série969-9368 sérieTurbo-v70lp

Table des Matières