Table des Matières
Publicité
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V 70LP devem ser
utilizadas somente com um dos controladores Varian específicos
(série 969-9405, 969-9505, 969-9507 ou 969-9508) e devem ser
ligadas a uma bomba primária (ver esquema em "Technical
Information").
NÃO!
!
PERIGO!
Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção
(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou
um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar
sempre a turbobomba à base.
A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. Fixar a
turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da
turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um torque
de 200 Nm ao redor do próprio eixo, ou utilizando o kit específico
opcional para a fixação à base.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada às
câmaras de vácuo através de bornes duplos ou simples. A tabela
a seguir descreve o número de bornes necessários e com qual
torque devem ser apertados.
FLANGE
TIPO DE BORNE
ISO 63
Borne duplo com rosca
M10
Borne simples com rosca
M8
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica
Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice "Technical
Information".
Para fixar a bomba através da sua base, é necessário utilizar três
parafusos M4 fixados aos furos específicos existentes na base da
bomba. Os parafusos utilizados devem possuir um limite de carga
2
de 500 N/mm
e devem ser fixados com um binário de 0,9 Nm.
Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical
Information".
UTILIZAÇÃO
Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilização.
Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o
invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o
eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no
flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. Utilizar sempre
o resfriamento com água durante as operações de aquecimento.
Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações de
aquecimento.
N°
TORQUE
4
22 Nm
4
11 Nm
10
INSTRUÇÕES PARA O USO
!
PERIGO!
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante
as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode
causar lesões às pessoas.
!
ATENÇÃO!
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras
ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica
deve ser inferior a 2 bar.
!
ATENÇÃO!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbo-
bomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer
danos.
!
ATENÇÃO!
Para bombear gases agressivos utilizar só as versões especiais
da bomba Turbo - V 70LP. Estas bombas estão equipadas com
uma porta específica através da qual é necessário fornecer à
bomba um fluxo de gás inerte entre 0.4 e 1 mbar l/s.
MANUTENÇÃO
As bombas da série Turbo-V70LP não requerem qualquer
manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por pessoal
autorizado.
!
PERIGO!
Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula
específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a
temperatura superficial da bomba seja inferior a 50ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com defeito.
OBS.
Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou
advanced exchange service, é indispensável preencher e enviar
ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e Saúde" anexa
ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser
colocada na embalagem da bomba antes da expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação
respeitando as normas nacionais específicas.
87-900-862-01(E)
Publicité
Table des Matières
