Table des Matières
Publicité
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 70LP mogen
alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale
Varian controllers (serie 969-9405, 969-9505, 969-9507, of 969-
9508) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie
schema in "Technical Information").
NEE!
!
GEVAAR!
Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening
van de turbompomp worden gestoken. Men raadt gebruik van
het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of
een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt
aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen.
De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig
de turbopomp in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van
de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 200
Nm rondom de eigen as kan verdragen, of gebruik het speciale
optie-pakket voor bevestiging aan de basis.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde
klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten
worden.
FLENS
KLEMTYPE
ISO 63
Dubbele klem met
M10 schroefdraad
Enkelvoudige klem
met M8
schroefdraad
De
turbompomp
met
ConFlat
vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical Information".
Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie M4
bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp worden
ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van 500 N/mm
bezitten en met een koppel van 0,9 Nm worden aangehaald.
Zie "Technical Information" voor installatie van accessoires die als
optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn
in de handleiding van de regeleenheid vermeld.
Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door.
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis
verwarmd worden met behulp van een optionele verwarmingsunit.
Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de
temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.
NR.
AANHAALKOPPEL
4
22 Nm
4
11 Nm
inlaatflens
moet
aan
de
2
Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe.
!
Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmsoferische
druk) bedragen.
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders
beschadigd raken.
Gebruik voor het pompen van agressieve gassen alleen de
speciale uitvoeringen van de Turbo-V70LP pomp. Deze pompen
zijn voorzien van een speciale poort, waardoor een stroom inert
gas moet worden geleverd die varieert tussen 0.4 en 1 mbar lt/s.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V70LP zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.
!
Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil
staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen:
zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp.
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en
Gezondheid"
volledig
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
12
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
GEVAAR!
!
ATTENTIE!
!
ATTENTIE!
!
ATTENTIE!
GEVAAR!
OPMERKING
ingevuld
naar
het
87-900-862-01(E)
plaatselijke
Publicité
Table des Matières
