Table des Matières
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取扱説明書
TwisTorr 305-IC 実装
これらの取り付け説明が遵守されなかった場合、ローターの故障の際にシ
警告
ステムからのポンプの分離を引き起こし、それにより土地建物が損害を受
けるか、重大な損傷や死亡事故につながる可能性があります。
TwisTorr 305-ICはどんな位置でも取り付けることができます。
TwisTorr 305-ICを暗転した位置に固定し、軸回りに1000 Nmトルクの耐荷重の接
続でターボポンプの吸気フランジをシステムの対フランジへはめます。
ConFlat と ISO K 吸気フランジのターボポンプは、適切なアジレントのハードウ
ェアを用いて真空チェンバーへ固定されなければなりません。
更なる詳細は、「ConFlatとISO Kの取り付け」セクションをご覧ください。
電源コード： 電気配線用の正しいケーブルは、3線（Ph + N + Earth）ケーブルで
す。 線の部分は、少なくとも0.75 mm
TwisTorr 305-IC は、その基部またはインレットではない他のフランジを介して
注意
固定することはできません。
162
2
(AWG18) ある必要があります。
Agilent TwisTorr 305-IC User Manual
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