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Caractéristiques des gaz de purge et données de commande de remise à
l'air
Bien que la pompe puisse être remise à l'air, un taux élevé d'humidité relative de l'air peut
considérablement augmenter le temps de pompage ultérieur. Pour réduire les temps de
pompage, il convient d'effectuer une remise à l'air avec des gaz propres et secs.
Consultez le manuel de la pompe turbomoléculaire nEXT85 (B8G0-00-880) pour le raccord
de vanne de remise à l'air. Reportez-vous à la section
la configuration des options de remise à l'air.
Tableau 18 Spécifications relatives aux gaz de remise à l'air et à la commande de remise
à l'air
Spécifications relatives aux gaz de remise à
l'air et à la commande de remise à l'air
Gaz de remise à l'air
Point de rosée maximal à la pression
atmosphérique
Taille maximale des particules
Concentration maximale en huile
Temps nécessaire pour atteindre 50 % de la
vitesse de rotation
Vitesse maximale autorisée d'augmentation
de pression
Pression d'alimentation en gaz de remise à
l'air maximale admissible
Figure 13 Vitesse maximale admissible d'augmentation de pression pendant la remise
à l'air : pression/temps (pompe fonctionnant initialement à sa vitesse
maximale)
D395-94-883A - Référence technique
Page 41
Écran Vent valve
à la page 22 relative à
Données de référence
Air sec, azote, argon ou d'autres gaz inertes
-22 °C
1 μm
0,1 partie par million
> 15 secondes
Voir
1 bar relatif ; 14,5 psig, 2 × 10
5
Pa
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