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Tableau 3 – Caractéristiques de pression et de tension pour l'azote et l'air sec (APG-L)
Tension de
Pression (mbar)
sortie (V)
-6
< 1 x 10
-5
8,26 x 10
-4
2,27 x 10
-4
5,00 x 10
-3
1,08 x 10
-3
1,68 x 10
-3
2,60 x 10
-3
3,84 x 10
-3
5,15 x 10
-3
6,87 x 10
-2
1,05 x 10
-2
1,56 x 10
-2
2,10 x 10
-2
2,77 x 10
-2
3,45 x 10
-2
4,16 x 10
-2
5,04 x 10
-2
5,92 x 10
-2
8,74 x 10
-1
1,27 x 10
-1
1,71 x 10
-1
2,23 x 10
-1
2,90 x 10
-1
3,57 x 10
Si vous raccordez la sortie du signal de l'APG à un voltmètre, convertissez la tension mesurée en valeur de pression
correspondante : consultez le
Si nécessaire, ajustez la lecture de la pression afin de compenser la MMR du gaz dans votre système de vide
(voir la
Section
1.3).
4.2
Réglage du point de consigne
Si vous raccordez l'APG à un contrôleur AGC Edwards ou un écran APG, utilisez la procédure d'ajustement du point
de consigne détaillée dans le mode d'emploi fourni avec l'unité. Si vous raccordez l'APG à votre propre équipement
de commande, suivez la procédure ci-dessous pour changer son point de consigne : voir la
1. Faites glisser le panneau protecteur (2) hors du raccordement du système de vide.
2. Réglez le potentiomètre du point de consigne (4) à l'aide d'un petit tournevis.
3. Pour estimer la pression du point de consigne, utilisez l'échelle graduée sur l'étiquette du point de consigne
(Figure
4, élément 1 et
4. Pour mesurer avec précision la pression du point de consigne :
Raccordez la broche 7 à la broche 2 (ou à la terre)
Mesurez la tension entre les broches 3 et 5 à l'aide d'un voltmètre
Utilisez les données des
Si nécessaire, tournez le potentiomètre pour changer la pression du point de consigne
Débranchez la broche 7 de la broche 2 (ou de la terre)
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Pression (torr)
-7
2,00
< 7,5 x 10
-5
2,05
6,20 x 10
-4
2,10
1,70 x 10
-4
2,20
3,75 x 10
-4
2,40
8,10 x 10
-3
2,60
1,26 x 10
-3
2,80
1,95 x 10
-3
3,00
2,88 x 10
-3
3,20
3,86 x 10
-3
3,40
5,15 x 10
-3
3,60
7,88 x 10
-2
3,80
1,17 x 10
-2
4,00
1,58 x 10
-2
4,20
2,08 x 10
-2
4,40
2,59 x 10
-2
4,60
3,12 x 10
-2
4,80
3,78 x 10
-2
5,00
4,44 x 10
-2
5,20
6,56 x 10
-2
5,40
9,53 x 10
-1
5,60
1,28 x 10
-1
5,80
1,67 x 10
-1
6,00
2,18 x 10
-1
6,20
2,68 x 10
Tableau 2
pour l'APG-M ou l'APG-MP et le
Figure
5).
Tableaux 2
et
3
pour convertir la tension en une pression équivalente
Tension de
Pression (mbar)
sortie (V)
-1
4,35 x 10
6,40
-1
5,33 x 10
6,60
-1
6,40 x 10
6,80
-1
7,67 x 10
7,00
-1
9,23 x 10
7,20
1,14
7,40
1,40
7,60
1,66
7,80
1,92
8,00
2,38
8,20
2,95
8,40
3,51
8,60
4,17
8,80
5,40
9,00
7,06
9,20
9,69
9,40
1
1,29 x 10
9,50
1
1,66 x 10
9,60
1
2,07 x 10
9,70
1
3,39 x 10
9,80
1
6,32 x 10
9,90
2
1,44 x 10
9,95
3
1,00 x 10
10,00
Tableau 3
pour l'APG-L.
D021-71-883 Issue L
Pression (torr)
-1
3,26 x 10
-1
4,00 x 10
-1
4,80 x 10
-1
5,75 x 10
-1
6,92 x 10
-1
8,55 x 10
1,05
1,25
1,44
1,79
2,21
2,63
3,13
4,05
5,30
7,27
9,68
1
1,24 x 10
1
1,55 x 10
1
2,54 x 10
1
4,74 x 10
2
1,08 x 10
2
7,50 x 10
Figure
4.
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