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CMI manuel pour EVA600
6.13. Sélectionner le bon programme de la balance quartz pour la mesure d'épaisseur: voir Table des
conditions de dépôt (cf. paragraphe 9).
6.13.1. Presser la touche PROGRAM du module STM SYCON.
6.13.2. A l'aide des curseurs haut et bas, sélectionner le numéro du programme.
6.13.3. Valider en pressant sur la touche ENTER.
6.13.4. Contrôler tous les paramètres par pressions successives de la touche ENTER: Densité,
Impédance acoustique (Z-FACT), 3 paramètres pour la gestion d'automate (non utilisés), Facteur
de correction (Tooling).
6.13.5. Presser la touche PROGRAM pour revenir à l'écran principal.
6.14. Sur la console de commande, augmenter le courant progressivement avec le potentiomètre SOURCE
jusqu'à la valeur de puissance désirée sur l'afficheur "DC KiloWatts" du module HIGH VOLTAGE
voir Table des conditions de dépôt (cf. paragraphe 9).
6.15. Attendre la stabilisation de la vitesse de dépôt affichée sur l'écran du module STM SYCON. Le temps
de stabilisation varie selon les métaux.
6.16. Ouvrir l'obturateur et presser en même temps la touche ZÉRO pour remettre à zéro le chronomètre et
l'épaisseur totale déposée.
6.17. Relever les paramètres du dépôt (puissance, positions du faisceau, vitesse de dépôt, etc.).
6.18. Une fois l'épaisseur désirée obtenue, fermer l'obturateur et relever la durée de l'évaporation.
6.19. Sur la console de commande, baisser lentement le courant : potentiomètre SOURCE.
6.20. Sur la console de commande, basculer l'interrupteur SOURCE sur OFF.
6.21. Baisser la haute tension avec le potentiomètre VOLTAGE ADJUST, module HIGH VOLTAGE.
6.22. Sur la console de commande, basculer l'interrupteur HV sur OFF.
7. Évaporation par effet Joule.
7.1. Remplir la feuille de route : métal (aux) déposé(s), n° d'évaporation, opérateur, date, pression initiale
et les paramètres d'évaporation. Les feuilles de route précédentes peuvent être consultées.
7.2. Sélectionner une nacelle (n°1: Cu, Ag ; n°2: Au) en pressant le bouton correspondant.
7.3. Enclencher le générateur de courant : interrupteur à bascule sur le module GER2000.
7.4. Si le témoin INTERLOCK du générateur s'allume, 3 points sont à contrôler :
7.4.1. Les refroidissements sont bien enclenchés !
7.4.2. Une nacelle est bien sélectionnée !
7.4.3. La porte du bâti à l'arrière est bien fermée (zone grise).
7.5. Contrôler la position de l'obturateur : en position fermée pour la nacelle choisie.
7.6. Sélectionner le bon programme de la balance quartz pour la mesure d'épaisseur: voir Table des
conditions de dépôt (cf. paragraphe 9).
7.6.1. Presser la touche PROGRAM du module STM SYCON.
7.6.2. A l'aide des curseurs haut et bas, sélectionner le numéro du programme.
7.6.3. Valider en pressant sur la touche ENTER.
7.6.4. Contrôler tous les paramètres par pressions successives de la touche ENTER: Densité,
Impédance acoustique (Z-FACT), 3 paramètres pour la gestion d'automate (non utilisés), Facteur
de correction (Tooling).
7.6.5. Presser la touche PROGRAM pour revenir à l'écran principal.
7.7. Augmenter progressivement le courant en pratiquant des paliers de quelques minutes.
7.8. Attendre 2 à 3 minutes de stabilisation de la vitesse de dépôt. N.B. : l'obturateur en position fermée
masque le quartz de mesure d'épaisseur. La mesure de la vitesse de dépôt n'est pas active durant ces 2 à
3 minutes.
7.9. Ouvrir l'obturateur et presser en même temps la touche ZÉRO pour remettre à zéro le chronomètre et
l'épaisseur totale déposée.
7.10. Régler l'intensité du courant pour obtenir une vitesse de dépôt correcte (Au : 5Å/s). La vitesse de dépôt
est fonction du niveau de métal dans la nacelle. Elle augmente fortement lorsque la nacelle est presque
vide.
7.11. Relever les paramètres du dépôt (intensité, vitesse de dépôt, etc...).
7.12. Une fois l'épaisseur désirée obtenue, fermer l'obturateur et relever la durée de l'évaporation.
7.13. Immédiatement baisser l'intensité et couper le générateur de courant : interrupteur à bascule sur le
module GER2000.
7.14. Désactivez la nacelle sélectionnée en pressant le bouton correspondant.
23 mai 2001
dernière correction le 11 août 2005
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G.-F. Clerc / Ph. Langlet
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