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Contenu
4. Fonctionnement .........................................................................................4-1
4.1 Préparations...........................................................................................................4-1
4.1.1 Liste des maintenances quotidiennes avant utilisation .........................................................4-1
4.1.2 Préparations avant la mise sous tension de l'appareil (maintenance quotidienne
avant utilisation n° 1) .............................................................................................................4-1
4.1.3 Mise sous tension de l'appareil (maintenance quotidienne avant utilisation n° 2) ................4-2
4.2 Mesures .................................................................................................................4-4
4.3 Maintenance quotidienne après utilisation .............................................................4-8
4.4 Système de carte QC.............................................................................................4-9
4.5 Connexion à des dispositifs externes ..................................................................4-10
4.6 Lecteur de code-barres d'échantillon ...................................................................4-11
4.7 ID échantillon .......................................................................................................4-13
5. Maintenance périodique .............................................................................5-1
5.1 Maintenance périodique.........................................................................................5-2
5.2 Nettoyage du photomètre ......................................................................................5-3
5.3 Nettoyage de la partie de chargement de plaquettes et de la partie de
transfert de plaquettes ...........................................................................................5-4
5.4 Nettoyage de la boîte de recyclage .......................................................................5-5
5.5 Nettoyage du filtre à air ..........................................................................................5-6
6. Contrôle qualité ..........................................................................................6-1
6.1 Fluides de contrôle.................................................................................................6-1
6.2 Passage du fluide de contrôle (QN) .......................................................................6-1
6.3 Suivi des résultats ..................................................................................................6-1
6.4 Mode de commande ..............................................................................................6-1
6.5 Dépannage pour le contrôle qualité .......................................................................6-1
7. Dépannage .................................................................................................7-1
7.1 Indications des erreurs...........................................................................................7-1
7.1.1 Tableau des codes d'erreur ...................................................................................................7-1
7.1.2 Tableau des indications de résultats de test .........................................................................7-1
7.2 Dépannage ............................................................................................................7-3
7.2.1 Erreurs de démarrage ...........................................................................................................7-3
7.2.2 Erreurs de transfert ...............................................................................................................7-3
7.2.3 Erreurs du photomètre ..........................................................................................................7-3
7.2.4 Erreurs d'horloge intégrée ....................................................................................................7-4
7.2.5 Erreurs de ventilateur ............................................................................................................7-4
7.2.6 Erreurs de valeur de test .......................................................................................................7-5
7.2.7 Erreurs de contrôle de température ......................................................................................7-5
7.2.8 Erreurs de connexion à l'ordinateur hôte ..............................................................................7-7
7.2.9 Erreurs de l'imprimante .........................................................................................................7-7
7.2.10 Erreurs de données ..............................................................................................................7-7
7.2.11 Erreurs de lecture de carte QC .............................................................................................7-8
7.2.12 Erreurs de source d'alimentation ..........................................................................................7-8
7.2.13 Erreurs irrégulières ...............................................................................................................7-8
ii
897N120152G FDC NX10N Manuel d'instructions 02.2022
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