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5 Maintenance périodique
5.1 Maintenance périodique
<Maintenance quotidienne/périodique par l'utilisateur>
Les utilisateurs doivent procéder aux tâches de maintenance quotidienne/périodique décrites dans le tableau
suivant.
Points à contrôler
Photomètre
Partie de chargement de
plaquettes/partie de transfert
Boîte de recyclage
Filtre à air
<Maintenance par le support technique>
Si une maintenance ou des réparations spécifiques sont nécessaires, veuillez contacter votre assistance
technique (revendeur).
5
5-2
Intervalle de nettoyage
Une fois par mois ou lorsque des résultats de test
inexacts sont obtenus
Une fois par mois ou en cas de saleté
Une fois par mois ou en cas de saleté
Une fois par mois
897N120152G FDC NX10N Manuel d'instructions 02.2022
Procédure
Voir section 5.2
Voir section 5.3
Voir section 5.4
Voir section 5.5
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