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La jauge APG est configurée comme décrit à la
Il n'y a pas d'options supplémentaires pour la jauge APG. (Consultez les options de configuration par défaut (toutes
les jauges) à la
Section
4.8.1.)
Il n'y a pas de messages d'erreur/de diagnostic spécifiques à la jauge APG. (Consultez le
Messages de diagnostic
Plage dépassée (Over Range) (Sortie de jauge > 11,000 V)
En-dessous de la plage (Under
range)
4.8.4
Jauge active linéaire Pirani (APGX)
La jauge active linéaire Pirani (APGX) est une jauge haute pression à conductivité thermique qui dépend du gaz
utilisé. La plage de mesure de la jauge APGX-M et de la jauge anti-corrosion APGX-MP va de 100 mbar à 10
-4
(75 à 7,5 x 10
Torr) ; la plage de la jauge APGX-L va de 10 mbar à 10
indiqueront une pression jusqu'à 1000 mbar (750 Torr) à un niveau de précision moindre.
Les jauges linéaires à convection (APGX-H) sont des jauges haute pression à convection et à conductivité thermique
qui dépendent du gaz utilisé. La plage de mesure de la jauge APGX-H va de 1333 à 3 x 10
-4
(1000 à 2,3 x 10
Torr). Aux pressions supérieures à 10 mbar, la mesure se fait par convection, ce qui offre
une sensitivité et une précision constantes jusqu'à la fin de la plage de mesure.
Les jauges APG(X) sont activées en permanence. Par conséquent, dès qu'une sortie est reconnue, elle est affichée.
La jauge APGX est configurée comme décrit à la
(Consultez la
Figure
19.)
En plus des options de menu citées précédemment, la jauge APGX possède d'autres options de menu. (Consultez les
options de configuration par défaut (toutes les jauges) à la
Option du menu
Calibrate
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Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
Section 4.8.1
Tableau 10 – Contrôle des erreurs/diagnostics des jauges APG
Description
Indique que la pression du gaz mesuré est hors des limites de la plage de la jauge
ou que la jauge est défectueuse.
Supprimez le message d'erreur, réduisez la pression du procédé pour qu'elle
corresponde à la plage de la jauge. Sélectionnez la ligne appropriée et appuyez sur
le bouton de cycle. Si la jauge ne donne pas de relevé de pression, elle doit être
remplacée.
Ceci risque de se produire avec des gaz dont la masse moléculaire est faible tel
que l'Hélium.
(Sortie de jauge < 1,800 V)
Indique qu'il y a une erreur d'étalonnage ou que la jauge est défectueuse.
Etalonnez la jauge comme décrit dans le manuel d'utilisation. Si le défaut
persiste, remplacez la jauge.
Section 4.8.1
Tableau 11 – Options de configuration pour les jauges APGX
Description
Permet à l'utilisateur de régler la jauge APGX à l'atmosphère et au vide.
Connectez la jauge APGX au TIC et faites-la fonctionner à la pression
atmosphérique pendant au moins 10 minutes.
Sélectionnez « Calibrate » (Etalonnage) et appuyez sur le bouton de sélection.
« Command Sent » (Commande envoyée) s'affiche pendant 1 seconde pour
confirmer l'envoi de l'instruction.
Réduisez la pression du système à 1 x 10
pour les jauges APGX-M ou APGX-MP, ou 1 x 10
dessous pour la jauge APGX-L et APGX-H.
Appuyez sur « Select » (Sélectionner). Le message « Command Sent » (Commande
envoyée) apparaît après 1 seconde pour confirmer l'exécution de l'instruction.
Appuyez sur le bouton « menu » ( ) pour retourner à l'écran d'affichage.
relative à la configuration de la jauge par défaut.
-4
mbar (7,5 à 7,5 x 10
relative à la configuration de la jauge par défaut.
Section
4.8.1.) (Consultez le
-4
mbar (7,5 x 10
-5
mbar (7,5 x 10
D397-21-883 Issue J
Tableau
10.)
-3
mbar
-5
Torr). Toutes les jauges
-4
mbar
Tableau
11.)
-5
Torr) ou en-dessous
-6
Torr) ou en-
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