Table des Matières
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Utilisation en mode ionisation chimique (CI)
Pressions-types observées
Utilisation de la micro-jauge à vide à ionisation G3397A. Remarquer que le
régulateur de débit massique est étalonné pour le méthane et que la jauge à
vide est étalonnée pour l'azote, ces mesures ne sont donc pas précises, mais
sont une indication utile pour apprécier les pressions-types observées
(Tableau
qu'il s'agit de températures-types de PCI :
Température de la source
Température du quadripôle
Température d'interface
Débit de gaz vecteur hélium
Tableau 16 Débit et pression lus
MFC
(%)
10
15
20
25
30
35
40
Il faut se familiariser avec les mesures de son propre système, dans des
conditions normales de fonctionnement et surveiller les modifications qui
peuvent indiquer un problème de vide ou de débit gazeux. Les mesures varient
normalement de 30 % d'un DDM et contrôleur de jauge à l'autre.
132
16). Elles ont été relevées dans les conditions suivantes. Remarquer
Pression (torr)
Méthane
DDM EI/PCI/NCI (pompe
turbo "performance")
10
–5
5,5
×
10
–5
8
×
10
–4
1
×
10
–4
1,2
×
1
–4
1,5
×
10
–4
2
×
10
–4
2,5
×
250 °C
150 °C
280 °C
1 mL/min
Ammoniac
DDM EI/PCI/NCI (pompe
turbo "performance")
–5
5
×
10
–5
7
×
10
–5
8,5
×
10
–4
1
×
10
–4
1,2
×
10
–4
1,5
×
10
–4
2
×
10
Manuel d'utilisation du DDM série 5975
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