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3 Mesure
3.10 Système de carte QC
(1) Présentation
Le système de carte QC compense les variations observées entre les lots de plaquettes FUJI
DRI-CHEM et garantit des performances uniformes.
標
準
y
液
基
準
値
y
3
Y
y
0030
Valeurs de mesure réelles de la plaquette
(2) Saisie des coefficients de compensation de lot à l'aide d'une carte QC
Les coefficients de compensation de lot sont enregistrés sur des cartes QC, et une carte QC
est fournie avec chaque boîte de plaquettes. Lorsque des données sont saisies à partir d'une
nouvelle carte, les coefficients de compensation de lot précédemment stockés sont mis à jour.
Lisez toujours la nouvelle carte QC lorsque vous passez à une boîte de plaquettes neuve, car
chaque carte QC contient également les données de plaquette essentielles pour la mesure, en
plus des coefficients de compensation de lot.
NOTE
NOTE
(3) Utilisation de cartes QC
Une carte QC doit être lue lorsqu'une nouvelle plaquettes de test sera utilisée ou lors du pas-
sage à un lot de plaquettes neuf.
Lisez la carte QC lorsque le message [Prêt pour le test] ou [Chauffe] s'affiche sur l'écran LCD.
3-35
Y
Y
y
3
3
y
2
2
y
1
1
x
x
x
x
1
2
1
2
スライ ド (補正前) の実測値 X
(avant la compensation) X
Les valeurs « e » enregistrées sur les cartes QC sont exprimées sous la forme e×10
L'analyseur enregistre les informations de la carte QC de 5 lots maximum pour chaque
test. La lecture des cartes QC de plus de 5 lots entraîne la suppression des informa-
tions de QC en commençant par le lot le plus ancien.
Méthode de calcul
Une grande variété de fluides de référence mis
au point pour les plaquettes FUJI DRI-CHEM sont
mesurés sur chaque lot de plaquettes.
Le rapport entre les valeurs de mesure réelles X
(x
x
x
) et les valeurs standard Y (y
1,
2,
3
exprimé par la formule Y=c+dX+eX
cients de compensation de lot (c, d et e) dérivés de
la formule sont utilisés pour compenser les varia-
tions en X de chaque lot.
X
X
x
x
3
3
897N201058J Manuel d'instructions FDC NX700 2022.04
, y
, y
) est
1
2
3
2
. Les coeffi-
3
.
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