Brooks Instrument CMC Serie Manuel D'installation Et D'utilisation page 19

Essential Instructions
CMC Series
Greek
Brooks Instrument ,
,
Brooks Instrument.
:
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: (1)
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Brooks Instrument
25 mm
( / )
Brooks Instrument
«D»
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1.
2.
3.
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16
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0,5 bar (g)
(PED).
25 mm 1
1
Brooks Instrument
( 2014/30/EU
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CE.
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ESD (
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Brooks Instrument.
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25 mm
1.
,
CE
EMC).
:
CE.
100%
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(ESD)
,
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)
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Installation and Operation Manual
X-VAC-CMC-eng
Part Number: 541B153AAG
.
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/
Brooks Instrument.
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(PED)
1
PED.
2014/34/EU.
PED.
(SEP).
(EMC)
CE.
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360 .
100%
,
(NMOS, SMOS .).
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May, 2018
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