Temporisation D'amorçage; Contamination; Tab. 7: Facteurs De Calibrage Pour La Plage De Pression - Pfeiffer Vacuum Pkr 261 Manuel De L'utilisateur

Fonctionnement
Type de gaz
Néon (Ne)
Argon (Ar)
Krypton (Kr)
Xénon (Xe)
Les facteurs de calibrage fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 7:
6.4 Temporisation d'amorçage
Les systèmes de mesure à cathode froide ont une temporisation d'amorçage à l'activation. Cette tem-
porisation d'amorçage est plus longue pour les basses pressions et est typiquement dans les unités dé-
gazées propres :
● 10
● 10
● 5 × 10
L'amorçage est un processus statique pour lequel des dépôts même minimes peuvent avoir une grande
influence sur les surfaces intérieures. Tant que le circuit de mesure à cathode froide ne s'est pas allu-
mé, seules les valeurs mesurées Pirani sont émises (affichage « Pirani underrange » gamme Pirani dé-
passée vers le bas pour des pressions p < 5 × 10
fonctionnement Pirani.
6.5 Contamination
La contamination du jauge dépend
● de la pression dans les enceintes à vide
● du type de fluide de process
● Contamination existante ou nouvellement accumulée ou sa pression partielle (p. ex. vapeurs, par-
● Durée de service
Le fonctionnement continu dans la plage comprise entre 10
nation grave et réduire la durée de vie et les intervalles d'entretien. Avec des basses pression constan-
tes (p < 1 × 10
cessaire.
La contamination du jauge entraîne généralement des déviations des valeurs mesurées :
● Dans la plage des hautes pressions (1 × 10
● Dans la plage de basses pressions (< 1 × 10
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Facteurs de calibrage pour la plage de pression < 10
-5 hPa environ 1 seconde
-7 hPa environ 20 secondes
-9 hPa environ 2 minutes
Activation avec pression p < 3 x 10
Lors de l'activation du point de mesure avec une pression p < 3 x 10
sure ne détectera pas d'amorçage du système à cathode froide. Le point de mesure affiche
« Pirani underrange » (gamme Pirani dépassée vers le bas).
Entretien du fonctionnement du point de mesure
Si le point de mesure monté sur bride fonctionne en continu quelle que soit la gamme de
pression, la temporisation d'amorçage du circuit de mesure à cathode froide est toujours
négligeable (< 1 s), avec un effet minimal de stabilisation thermique.
Garantie
Tout dysfonctionnement de l'équipement résultant directement d'une contamination et de
l'usure (comme l'aide d'amorçage) n'est pas couvert par la garantie.
ticules de process, etc.)
-6
hPa), une durée de vie de > 1 an peut être atteinte avant qu'un nettoyage ne soit né-
vée (contamination de l'élément Pirani). Le système de mesure Pirani doit être recalibré.
basse (contamination du système à cathode froide). Une contamination excessive va causer des
Facteur de calibrage (C)
4,1
0,8
0,5
0,4
-5
hPa
-9 hPa
-4 hPa). La sortie d'identification signale seulement le
-4 hPa et 10 -2 hPa peut causer une contami-
-3 hPa to 0.1 hPa), la pression affichée est trop éle-
-3
hPa), la pression affichée est généralement trop
-9 hPa, le point de me-