Table des Matières
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Introduction
1.1
Champ d'application et définitions
Ce manuel présente les instructions de montage, d'utilisation et d'entretien de la jauge à convection linéaire
APGX-H d'Edwards. Vous devez utiliser la jauge APGX-H de la manière décrite dans le présent manuel.
Lisez ce manuel avant d'installer et d'utiliser l'APGX-H. Les informations de sécurité importantes sont mises
en évidence dans des encadrés intitulés AVERTISSEMENT et ATTENTION. Vous devez en respecter les consignes.
L'utilisation des encadrés AVERTISSEMENT et ATTENTION est définie ci-dessous.
Un message Avertissement est prévu chaque fois que le non-respect d'une consigne risque
d'entraîner mort ou blessure.
Un message Attention est prévu chaque fois que le non-respect d'une consigne risque d'endommager
l'équipement, le matériel et le processus
Les symboles d'avertissement IEC ci-dessous figurent sur la pompe :
Avertissement - consulter la documentation fournie.
Avertissement – Edwards propose un service de recyclage aux clients européens.
Les unités utilisées dans l'ensemble de ce manuel sont conformes au système international SI d'unités de mesure.
1.2
Description
L'APGX-H est une jauge à conductivité thermique (Pirani) qui utilise le principe de la convection pour améliorer la
sensibilité proche de la pression atmosphérique. Elle est capable de mesurer la pression entre 3 x 10
-4
1 333 mbar (2,3 x 10
Torr et 1 000 Torr). L'APGX-H peut mesurer la plage complète de pressions dans n'importe
quelle orientation. Le tube se détache du boîtier électronique et est disponible sous forme de pièce de rechange.
La jauge APGX-H nécessite une alimentation électrique de 14,5 à 30 V c.c. : elle est pourvue d'une sortie linéaire
analogique de 0 à 10 V c.c. couplée à la pression. L'APGX-H est compatible avec tous les contrôleurs de jauges
actives (AGC, Active Gauge Controller) d'Edwards, les versions appropriées des contrôleurs TIC (Turbo Instrument
Controllers) d'Edwards et les afficheurs pour jauges actives (AGD, Active Gauge Displays). Il est également possible
d'utiliser une alimentation électrique indépendante pour la jauge APGX-H et de lire son signal de sortie à l'aide d'un
voltmètre ou d'un convertisseur analogique-numérique.
La jauge possède deux voyants qui indiquent son état ainsi que celui de la sortie du point de consigne. La jauge est
aussi équipée d'une fonction de suivi des erreurs. Lorsqu'une erreur est détectée, une tension d'erreur est envoyée
à la sortie du signal de pression et le voyant d'état indique qu'une erreur s'est produite.
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AVERTISSEMENT
ATTENTION
D023-92-883 Issue F
-4
mbar et
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