Table des Matières
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Détecteur de fuites modèle série 979 avec spectromètre de masse à l'hélium
3. Examiner la source d'ions (Schéma 4-13) et sa cavité (Schéma 4-14) pour repérer toute
trace de décoloration ou de dépôts. Une fois l'examen terminé, enlevez le tout
correctement avant de le renvoyer à Vacuum Technologies pour un échange.
4. En observant la cavité de la source d'ions (Schéma 4-14) vous verrez la plaque à fente
mise à la terre
Schéma 4-14 Cavité de la source d'ions
Schéma 4-13 Source d'ions
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4-15
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