Table des Matières
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Raccords des gaz et des échappements :
Vide de la
source
Évent de la source
5.
Installez un détendeur d'azote, non fourni, sur l'alimentation en azote.
6.
Placez le goujon de 6 mm dans la sortie du régulateur.
7.
Raccordez l'extrémité libre du long tuyau de PTFE de 6 mm au goujon de
6 mm.
Connexion à la pompe
turbomoléculaire
Entrée de gaz de la
cellule de collision
Entrée de l'azote
Connexion à l'alimentation en azote
B-13
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Chapitres
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