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ACHTUNG !
des Services ist es aus
Vor jeder lnanspruchnahme
Grunden der Arbeitssicherheit und des Umweltschutz-
es notwendig, am oder im Gerst befindliche, gefahrli-
che stoffe (z.B. im Sinne EG-Richtlinie L 360, 1976
11979 oder VBG 16) anzuzeigen und zu deklarieren.
l n h a l t
1
Beschreibung . . . . . . . . . . .
1.1
Allgemeine Angaben . . . . .
1.1.1
Bezeichnung . . . . . . . . . . . . .
1.1.2
Verwendungszweck
1.1.3
Kennzeichnungsstelle
1. 1 .4
Baugruppen0bersicht
Tectmische Daten
1.2
Physikalische Daten
1.2.1
Elektrische Oaten . . . . . . . . .
1.2.2
Sonstige Oaten . . . . . . . . . . .
1.2.3
Tectmische Beschreibung
1.3
Beschreibung des Nachweis-
1.3.1
Prinzips (Gegenstrom) . . . . . .
. . . . . . . . . . . .
Ventilstellung
1.3.1.1
Vorvakuumpumpe . . . . . . . .
1.3.2
Turbo-Molekularpumpe . . . .
1.3.3
Massenspektrometer . . . . . .
1.3.4
lonenquelle . . . . . . . . . . . . .
1.3.5
lonenfanger und Verstarker
1.3.6
Ausstattung . . . . . . . . . . .
1.4
1.4.1
Lieferumfang
. . . . . . . . . . .
Zubehor . . . . . . . . . . . . . . .
1.4.2
Bediem.llrog undl Betrieb
2
2.1
Aufstellen des UL
100
2.1.1
Obersicht der Bedien- und
. . . . . . . .
Anzeigeelemente
Vorbereitung zur lnbetrieb-
2.1.2
nahme . . . . . . . . . . . . . . . .
Betriebstemperatur
2.1.3
Beschreibung der
2.2
Bedienf11..mktionen
NetzanschluB . . . . . . . . . . .
2.2.1
Elektrischer AnschluB . . . . .
2.2.1.1
Netzschalter "EIN/AUS" . . .
2.2.1.2
Netzspannungsausgang fur
2.2.1.3
Zusatzgerate
. . . . . . . . . . .
Taste "ST ART" und
2.2.2
"STOPNENT" . . . . . . . . . .
Werteingabe-Taste . . . . . . .
2.2.3
MeBbereichswahl-Taste
2.2.4
"Automatik" /"Triggerlogik"
MeBbereichswahl-Taste
2.2.5
"HAND"
. . . . . . . . . . . . . .
N ullpunkt-Taste "Auto-Zero"
2.2.6
M ultifunktions-Taste
2.2.7
"Akustisches Signal"
M ultifunktions-Taste
2.2.8
"Trigger und Kalibrierung" . .
Funktion "Trigger 1 und 2"
2.2.8.1
Normal . . . . . . . . . . . . . . . .
Funktion "Trigger 1 und 2"
2.2.8.2
lnvers . . . . . . . . . . . . . . . . .
Sonderfunktion Trigger 1
2.2.8.3
und 2 (Geratezustand)
Funktion "Kalibrierung" . . . .
2.2.8.4
Taste fur Eingabe-Ende
2.2.9
"ENTER" . . . . . . . . . . . . . .
Permanenter Parameterspeicher 23
2.2.10
Gasballastventil . . . . . . . . . .
2.2.11
TestanschluB
. . . . . . . . . . .
2.2.12
Zusatzliche Bedieneinrichtungen 24
2.2.13
2
IMPORTANT!
Before consulting the Service Dept., please declare, for
the sake of operational
protection, any toxic or other hazardous products (e.g.
as defined in EEC directive L 360, 1976/1979 or VBG
16) existing in or around the apparatus to be serviced.
C o n t e n t s
4
Description . . . . . . . . . . . . .
1
General . . . . . . . . . . . . . . . .
4
1.1
1.1.1
Designation
5
1 .1.2
Purpose . . . . . . . . . . . . . . . .
5
1.1.3
Rating Plate . . . . . . . . . . . . .
5
1.1 .4
Modules . . . . . . . . . . . . . . . .
5
Tectmical Data . . . . . . . . . .
6
1.2
Physical Data . . . . . . . . . . . .
6
1.2.1
7
Electrical Data
1.2.2
7
Other Data . . . . . . . . . . . . . .
1.2.3
8
Technical Descripticn1
1.3
Description of Leak Detection
1.3.1
9
Principle (Counterflow)
9
Valve positions . . . . . . . . . . .
1.3.1.1
Backing Pump
1 0
1.3.2
1 0
Turbo-Molecular Pump . . . .
1.3.3
1 0
Mass Spectrometer . . . . . . .
1.3.4
1 1
Ion Source . . . . . . . . . . . . .
1.3.5
Ion Collector and Amplifier
1 1
1.3.6
Equipment
12
1.4
12
1.4.1
Standard Specification
12
1.4.2
Accessories . . . . . . . . . . . .
2
Operatiorn . . . . . . . . . . . . .
. .
14
2.1
PLUS 14
2.1.1
Layout of Controls and Displays 14
14
Preparations for Initial
2.1.2
15
Start-Up . . . . . . . . . . . . . . .
16
Operating Temperature . . . .
2.1.3
2.2
Descriptioro of Corotmis . .
16
Mains Connections . . . . . . .
16
2.2.1
Electrical Connections . . . . .
16
2.2.1.1
17
"ON/OFF"
2.2.1.2
Mains Outlet for Auxiliary
2.2.1.3
17
Equipment . . . . . . . . . . . . .
Pushbutton "ST ART" and
2.2.2
"STOPNENT" . . . . . . . . . .
17
18
Parameter Pushbutton . . . . .
2.2.3
Range Selector Pushbutton
2.2.4
19
"Automatic" /"Trigger logic"
Measuring Range Selector
2.2.5
"Manual" . . . . . . . . . . . . . .
19
Pushbutton "Auto Zero " . . .
19
2.2.6
Multi-Function Pushbutton
2.2.7
"Acoustic Signal" . . . . . . . .
19
Multi-Function Pushbutton
2.2.8
20
"Trigger and Calibration"
Function "Trigger 1 and 2"
2.2.8.1
20
Normal . . . . . . . . . . . . . . . .
Function "Trigger 1 and 2"
2.2.8.2
2 1
lnvers . . . . . . . . . . . . . . . . .
Special function Trigger 1
2.2.8.3
22
and 2 (equipment status) . . .
22
Function "Calibration"
2.2.8.4
"ENTER" Pushbutton . . . . .
2.2.9
22
Permanent Parameter Memory 23
2.2.10
23
Gas Ballast Valve . . . . . . . .
2.2.11
24
Test Connection . . . . . . . . .
2.2.12
Additional Features . . . . . . .
2.2.13
ENTION!
Pour des raisons liees
safety and environmental
priere d'indiquer
service apres-vente /es produits dangereux (p. ex. au
terme des directives de la CE L 360, 1976/1979 ou VBG
16) se trouvant sur ou dans l'apparei/.
Sommairre
4
1
4
1.1
1 . 1 . 1
. . . . . . . . . . . . .
5
1 . 1 .2
5
1. 1 .3
5
5
1.1.4
6
1.2
1.2.1
6
. . . . . . . . . . .
7
1.2.2
7
1.2.3
. . . .
8
1.3
1.3.1
. . . . .
9
9
1.3.1.1
. . . . . . . . . .
1 0
1.3.2
1 0
1.3.3
1 0
1 1
1 1
. . . . . . . . . . . .
12
1.4
12
12
14
Up the UL
PLUS 14
100
2.1.1
2.1.2
15
16
2.1.3
2.2
16
16
2.2.1
16
2.2.1.1
Power Switch
. .
17
2.2.1.2
2.2.1.3
17
17
18
2.2.3
19
19
19
19
2.2.8
20
2.2.8.1
20
2 1
22
22
23
23
24
24
a
a
la securite et
a
chaque demande d'intervention du
Description
Generalites
Designation
. . . . . . . . . . . . . .
Emploi . . . . . . . . . . . . . . . . .
Signalisations . . . . . . . . . . . . .
Composition modulaire
Caracteristiques techniques
Caracteristiques physiques
Caracteristiques electriques . . .
Autres caracteristiques . . . . . .
Description technique
Description du principe
de detection (contre-flux)
Positions des robinets . . . . . . .
a
Pompe
vide primaire
Pompe turbomoleculaire
1.3.4
Spectrometre de masse
1.3.5
Source d'ions . . . . . . . . . . . .
1.3.6
Collecteur d'ions et amplificateur 1 1
. . . . . . . . . . . .
Equipemernt
1.4.1
Equipement standard . . . . . . .
1.4.2
Accessoires . . . . . . . . . . . . .
mmsation . . . . . . . . . . . . . .
lrostailatioro de UL 1 O ! O l PLUS
Elements de commande et
d'affichage . . . . . . . . . . . . . .
Preparatifs pour l a premiere
mise en service
. . . . . . . . . .
Temperature de service . . . . .
Descriptiorn des fonctiorns de
comma111de . . . . . . . . . . . . .
Raccordement au secteur . . .
Raccordement electrique . . . .
lnterrupteur "MARCHE/ARRET" 17
Sortie de tension secteur pour
appareils supplementaires . . .
Touches "ST ART" et
2.2.2
"STOPNENT" . . . . . . . . . . .
Touche d'entree de valeurs . .
Touche de selection "automa-
2.2.4
tique" /"trigger log.
des
n
gammes de mesure
Touche de selection "manuelle"
2.2.5
des gammes de mesure
a
Touche de remise
zero
2.2.6
"autozero" . . . . . . . . . . . . . .
Touche multifonction "signal
2.2.7
acoustique"
Touche multifonction
"trigger et calibrage"
Fonction "triggers 1 et 2"
normale . . . . . . . . . . . . . . . .
Fonction "triggers 1 et 2"
2.2.8.2
inverse . . . . . . . . . . . . . . . . .
Fonction speciale triggers 1 et 2
2.2.8.3
(etat de l'appareil) . . . . . . . . .
Fonction "calibrage" . . . . . . .
2.2.8.4
Touche de confirmation
2.2.9
d'entree "ENTER"
. . . . . . . .
Memoire perm. des parametres
2.2.10
Robinet de lest d'air . . . . . . .
2.2.11
Raccord test . . . . . . . . . . . . .
2.2.12
Dispositifs supplementaires . .
2.2.13
l'environnement,
4
4
5
.
5
5
. . . . . .
5
6
. . .
6
7
7
8
9
9
1 o
. . . .
1 o
1 o
1 1
12
12
12
14
15
16
1 6
16
16
17
17
18
19
. . . .
19
19
20
20
2 1
22
22
23
23
23
24
24
VP61-ll/91-TH-A-E
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