Sommaire des Matières pour LEYBOLD MAG integra Série
- Page 1 MAG integra Pompes Turbomoléculaires avec paliers magnétiques et convertisseur de fréquence Mode d‘emploi 300324726_003_C0 Références 411300Vxxxx 411600Vxxxx 411700Vxxxx 412200Vxxxx et pompes modifiées par Leybold...
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Page 2: Table Des Matières
Raccord vide primaire Raccordement de l’eau de refroidissement 3.5.1 Qualité de l’eau Raccordement de la vanne d’admission d’air et de gaz de barrage Raccordement électrique pour le convertisseur de fréquence intégré Relais, lampes, Interface SPS 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... - Page 3 Nettoyage Changement des paliers de butée S.A.V. chez Leybold Dépannage Mise au rebut Déclaration européenne d’incorporation Déclaration de conformité CE Certificats Ce mode d‘emploi est la traduction du mode d‘emploi en langue allemande 300324726_001_C0. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold...
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Page 4: Consignes De Sécurité
Les MAG integra de Leybold assurent un fonctionnement fiable et correct, s’ils sont utilisés convenablement en respectant les instructions énoncées dans ce mode d’emploi. Veuillez consulter minutieusement toutes les consi- gnes de sécurité... -
Page 5: Consignes De Sécurité Importantes
Pour éviter la destruction du matériel et les blessures corporelles, les principaux fabricants européens de pompes à vide recommandent donc instamment de suivre des instructions précises d‘installation que nous exposons dans ce mode d‘emploi. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 6: Risques Électriques
Ne transporter la pompe, le convertisseur de fréquence et les câbles de connexion que dans leurs emballages originaux pour éviter des dommages mécaniques s’accompagnant ensuite de la diminution des distances d’isolement et de cheminement. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 7: Risques Thermiques
équipement de protection respiratoire ou une tenue de protection et travailler sous une hotte. Fermer hermé- tiquement la pompe. Indiquer aussi la nature du risque encouru lors de 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 8: Risque D'allumage
80 °C sur des pièces de la surface extérieure. Des étincelles d’allumage sont possibles dans le cas d’un dérangement présumé et elles risquent de provoquer l’explosion de mélanges inflammables. Conformez-vous également aux consignes de sécurité du fournisseur de gaz. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 9: Risque De Dommages À La Pompe
Relier la pompe conformément aux normes de compatibilité électro- magnétique (CEM) pour éviter des perturbations liées aux lignes élec- triques. Les indications de pression en bar ou mbar sont des pressions absolues sauf indications divergentes. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 10: Description
MAG W 2200 iP MAG W 2200 iPL Fig. 1.1 Différents modèles de MAG integra Description Le système de pompage MAG integra de Leybold comprend : La pompe turbomoléculaire MAG integra ■ Les MAG sont des pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques. Elles sont conçues pour l‘évacuation d‘enceintes de vide à... -
Page 11: Structure Et Fonctionnement
Les pompes MAG possèdent un dispositif à gaz de barrage. Elles sont refroi- dies par eau. Un moteur synchrone régulé sert à entraîner le rotor. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 12: Convertisseur De Fréquence
Le convertisseur de fréquence est muni des interfaces suivantes : une interface Profibus ou une autre interface optionnelle, voir section 4.2. ■ une interface pour le S.A.V. Leybold (RS 232) et ■ trois raccords pour accessoires, par exemple pour des vannes ■... -
Page 13: Données Techniques
à vide primaire supérieur à 600 m3/h. Ces valeurs varient en fonction des conditions de fonctionnement. 2) Le débit de gaz maximal et la pression de vide primaire maximale ne peuvent pas être atteints simultanément. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... - Page 14 10 - 45 °C à l‘arrêt (stockage) – 10 - 60 °C Humidité relative de l‘air, pas condensant 5 à 85 % Protection IP 54 Catégorie de surtension Degré d‘encrassement (IEC 61010) 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Page 15 Hochvakuumdruck Vide poussé MAG W 1300 mbar·l/s Pour une brève période Stickstoff Azote Argon Argon En service continu mbar Vorvakuumdruck Pression Fig. 1.3 Courbes du débit-volume et diagrammes de travail pour MAG W 1300 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Page 16 Hochvakuumdruck Vide poussé MAG W 1600 Pour une brève période mbar·l/s Azote Stickstoff Argon Argon En service conti- mbar Vorvakuumdruck Pression Fig. 1.4 Courbes du débit-volume et diagrammes de travail pour MAG W 1600 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Page 17 Hochvakuumdruck Vide poussé MAG W 1700 mbar·l/s Pour une brève période Stickstoff Azote Argon Argon En service continu mbar Vorvakuumdruck Pression Fig. 1.5 Courbes du débit-volume et diagrammes de travail pour MAG W 1700 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Page 18 Hochvakuumdruck Vide poussé MAG W 2200 mbar·l/s Pour une brève période Stickstoff Azote Argon Argon En service continu mbar Druck Pression Fig. 1.6 Courbes du débit-volume et diagrammes de travail pour MAG W 2200 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Page 19 200 CF – – – 1600/1700 250 ISO-F 250 CF – 2200 250 ISO-F 250 CF – 1) 4 mm pour serpentin de réfrigération Fig. 1.7 Schéma coté des pompes ; dimensions en mm 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold...
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Page 20: Références Pour Commandes
* La classe de protection IP 54 n‘est assurée que si l‘interface du client est dotée d‘un capuchon protecteur IP 54. Les variantes de pompes sans capuchon protecteur IP 54 ne correspondent qu‘à la classe de protection IP 20. Pour un capuchon protecteur IP 54 optionnel, veuillez nous contacter. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 21: Accessoires
0,6 mbar·l/s à une pression de 1,5 à 6 bars 121 33 0,6 mbar·l/s à une pression de 1 à 1,5 bar 800152V0010 Jeu de câbles (2 unités) pour raccorder la pompe 411300V01 Kit vanne d’eau de refroidissement 411300V02 800152V0013 800110V0011 800110V0012 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 22: Transport Et Stockage
Ils peuvent être aussi fixés au fond de la pompe. Il convient de dévisser les pieds au préalable, à cette fin. Fig. 2.1 Oreille de levage 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 23: Montage
L’utilisation d’accessoires qui ne sont pas spécifiés par la société Leybold n’est possible qu’après avoir consulté les services de Leybold à ce propos. Joint à la livraison, le convertisseur de fréquence intégré MAG.DRIVE iM est nécessaire au fonctionnement des pompes. - Page 24 Transformations, manipulation et tâches de maintenance accomplies par ■ des personnes non autorisées par la société Leybold. Non conforme aux prescriptions, l’emploi de la pompe, du convertisseur AVERTISSEMENT de fréquence et des accessoires risque de provoquer de graves blessures et des dommages sur les pièces.
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Page 25: Conditions D'environnement
35 kNm. Les pompes ont été testées aussi bien contre l‘écrasement que contre l‘écla- tement selon ISO 27892. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... - Page 26 En principe, le convertisseur de fréquence peut être démonté de la pompe. Cette opération ne doit être effectuée que par un spécialiste dûment formé par la société Leybold. Nous vous prions de bien vouloir nous soumettre toute demande dans ce sens.
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Page 27: Impact Des Vibrations
Le robinet vide poussé doit être fermé lorsqu’on nettoie la pompe avec du liquide et lorsque la pompe est arrêtée à cause d’une panne. Le robinet doit être fermé hors tension. Richtig Correct Falsch Incorrect Fig. 3.2 Fixation de l‘installation 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 28: Montage De La Protection Contre Les Éclats
Fixer la pompe turbomoléculaire d’après la Fig. 3.5 et serrer petit à petit les vis cruciformes. Si la pompe s’échauffe, il faudrait graisser les filetages de vis à l’aide d’un lubrifiant adapté aux hautes températures. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... - Page 29 La pompe peut tellement s’échauffer (jusqu’à 120 °C) durant son fonction- ATTENTION nement qu’elle présente un risque de brûlure. Protéger les pièces brûlantes afin qu’elles ne puissent être touchées. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold...
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Page 30: Raccord Vide Primaire
à l’arrêt, l’huile de la pompe primaire de pénétrer dans la pompe turbomoléculaire. Piège à adsorption Pour s’assurer que l’espace de vide primaire de la pompe turbomoléculaire reste préservé dans une large mesure des vapeurs d’huile même durant le 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 31: Raccordement De L'eau De Refroidissement
(n < 15 Hz), empêchant ainsi la forma- tion de condensation dans cette dernière. Installer la vanne selon la figure 3.7 et la brancher au convertisseur (cf. Fig. 3.11). 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 32: Caractéristiques De L'eau De Refroidissement
Claire, exempte de toute trace de graisse ou d’huile Précipités < 250 mg/l Taille des particules < 150 µm Conductivité électrique < 700 µS/cm Valeur pH 7,0 - 9,0 Dureté totale (base alcalinoterreuse) < 8 °dH Gaz carbonique agressif néant, non décelable 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... - Page 33 En cas de gel, l’emploi d’une solution Eau/Glycol à 30% max. est autorisé. A condition que la valeur pH soit conforme aux consignes mentionnées en haut la pompe peut être exploitée avec de l’eau déminéralisée. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold...
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Page 34: Raccordement De La Vanne D'admission D'air Et De Gaz De Barrage
Raccorder la vanne d’admission d’air et de gaz de barrage recommandée par nos soins d’après les instructions. Les câbles de la vanne peuvent être connectés directement à la pompe. Bien faire coïncider alors les mentions « Purge » et « Vent » assignées aux prises et aux câbles ! 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 35: Raccordement Électrique Pour Le Convertisseur De Fréquence Intégré
à la Fig. 3.12. Afin de respecter la norme SEMI S2, installer un dispositif de mise hors circuit supplémentaire côté installation. Le pouvoir de coupure en court-circuit de ce dispositif doit être d’au moins 10 000 ampères. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 36: Relais, Lampes, Interface Sps
Marche arrêté Repos activé éteinte rouge Défaut ; Pompe arrêtée Marche arrêté Repos activé clignote rouge Défaut ; Pompe en fin de course Marche arrêté Repos activé clignote rouge Défaut vient de se produire 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... - Page 37 Clignotant brièvement (0,3 s) :activation de la mise en marche différée Allumée : mode de fonctionnement normal DEL jaune PWR et DEL verte STS (clignotant alternativement marche par inertie, mode de freinage pour n < 100 Hz, c’est-à-dire aération possible; en option) 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold...
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Page 38: Utilisation
CONTROL prime sur l’autre du fait de sa priorité supérieure. L‘adresse des modules du bus de terrain peut être définie via l‘interface de maintenance RS-232 ou les commutateurs d‘adresse. L’adresse configurée par défaut est 126dec = 7Ehex. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 39: Mise En Marche
Ne pas arrêter la MAG en coupant le courant mais toujours au moyen d’un ■ ordre d’arrêt. La mise hors service par coupure du courant augmente l’usure des paliers de butée. Si la tension secteur a été coupée par erreur, remettre immédiatement sous tension. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 40: Arrêt
(la lampe verte est éteinte). Arrêt d’urgence En cas d’arrêt d’urgence, arrêter la pompe comme décrit précédemment. Par admission d’air, le rotor de la pompe turbo peut être freiné plus rapide- ment, voir Fig. 4.1. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 41: Remise À L'air
Lorsqu’on aère par le raccord primaire de la pompe, aucune huile ni particule Raccord vide primaire provenant de la partie sous vide primaire ne doit être entraînée dans la pompe par le courant gazeux. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 42: Vitesse De Remontée De Pression
Emballer la pompe de manière à ce qu‘elle ne risque pas d‘être endomma- gée pendant le transport. Protéger surtout les brides et la fiche. Si vous retournez une pompe à Leybold, veuillez suivre les instructions du paragraphe 5.3. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 43: Entretien
Changement de rotor heures de service ou tous les 20 000 cycles. Ces travaux ne doivent être effectués que par le S.A.V. d’e Leybold. Consultez le S.A.V. Leybold le plus proche. Vous trouverez les adresses sur notre site Internet www.leybold.com. -
Page 44: Changement Des Paliers De Butée
(en règle générale plus de 1000 fois ou pendant 1 heure consécutive). Dans ce cas, il faut les remplacer. Seul le S.A. V. de Leybold peut remplacer les paliers de butée. S.A.V. chez Leybold Si vous nous renvoyez une pompe, veuillez indiquer si elle est exempte de Contamination substances nuisibles à... -
Page 45: Dépannage
La lampe jaune cli- Message d‘avertissement : La pompe peut continuer à tourner. Opérateur/ Personnel gnote. tension d‘alimentation trop basse ou Trouver la cause de la mauvaise tension de maintenance trop élevée. et corriger. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 46: Mise Au Rebut
Démontez les pièces propres, triez-les selon le type de matériau et mettez- les au rebut. Nous offrons ce service. Consultez-nous. Si vous nous renvoyez un appareil, veuillez tenir compte des remarques de la section « 5.3 S.A.V. chez Leybold». 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... - Page 47 Notes 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold...
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Page 49: Déclaration Européenne D'incorporation
Fax: + 49(0)221 347 1250 documentation@leybold.com Cologne, le 11/10/2016 Cologne, le 11/10/2016 [Signature] [Signature] __________________________ ______________________ ppa. Martin Tollner Dr. Monika Mattern-Klosson Directeur des études de produits Responsable de la recherche & du développement 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... - Page 50 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold...
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Page 51: Déclaration De Conformité Ce
Fax: + 49(0)221 347 1250 documentation@leybold.com Cologne, le 11/10/2016 Cologne, le 11/10/2016 [Signature] [Signature] __________________________ ______________________ ppa. Martin Tollner Dr. Monika Mattern-Klosson Directeur des études de produits Responsable de la recherche & du développement 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 52: Certificats
Etats Unis d‘Amérique et le Canada. Ce produit a été testé selon les exigences de CAN/CSA- C22.2 N° 61010-1, third edition, y compris Amendment 1, ou d‘une version ultérieure de la même norme, ayant les mêmes exigences de test. 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... -
Page 53: Déclaration De Contamination Des Appareils Et Composants Pour La Technique Du Vide
Je soussigné, déclare que les informations portées sur ce formulaires sont complètes et exactes. La livraison de l’appareil contaminé et de ses composants s’effectuera conformément aux dispositions sur l’emballage, le transport et l’étiquetage des matières dangereuses. Nom de la personne autorisée (en lettres capitales) : _______________________________ Cachet Date Signature 17200001_003_C0 © Leybold 300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold... - Page 54 Malaisie Beichen Economic Italie Development Area (BEDA), Europe No. 8 Western Shuangchen Road Leybold Leybold Singapore Pte Ltd. Leybold Italia S.r.l. Tianjin 300400 No. 1 Jalan Hi-Tech 2/6 Belgique Chine Via Trasimeno 8 Kulim Hi-Tech Park Distribution et S.A.V.:...