Table des Matières
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Utilisation en mode ionisation chimique (CI)
Source de
Gaz A
(méthane)
Source de
Gaz B (autre)
Figure 28
Schéma du module de régulation de débit des gaz de CI
Tableau 17 Tableau d'état du module de régulation de débit de gaz
Résultat
Débit gaz A
Gaz A
On/Ouvert
Gaz B
Off/Fermé
Mass flow
On/Ouvert
→
controller
consigne
Vanne d'arrêt
On/Ouverte
112
Vanne de sélection
du gaz A
Vanne de sélection
du gaz B
Débit gaz B
Off/Fermé
On/Ouvert
On/Ouvert
→
consigne
On/Ouverte
Contrôleur
de débit
massique
Vanne du
composé de
référence
Restricteur
Flacon
d'étalonnage
Balayage avec
Balayage avec
gaz A
gaz B
On/Ouvert
Off/Fermé
Off/Fermé
On/Ouvert
On/Ouvert
On/Ouvert
→
→
100 %
100 %
On/Ouverte
On/Ouverte
Source
d'ions CI
Vanne d'arrêt
Interface
CPG/DDM
Colonne CPG
Évacuation du
Mode Attente,
module de
à l'air, ou EI
régulation
Off/Fermé
Off/Fermé
Off/Fermé
Off/Fermé
On/Ouvert
Off/Fermé
→
→
100 %
0 %
On/Ouverte
Off/Fermée
Manuel d'utilisation du DDM 5975
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